電子行業(yè)主要包括電子技術(shù)、半導(dǎo)體、多晶硅/單晶硅、太陽能和光電顯示領(lǐng)域，其中電子行業(yè)的真空應(yīng)用可以分為三大類：生產(chǎn)用真空（中高真空）、清掃真空 （粗真空）、工藝真空 （粗真空），一個典型的半導(dǎo)體工廠里就需要上述三種真空，分別需要不同的真空泵。
在鋰電池、光伏、半導(dǎo)體面板等對真空要求苛刻的領(lǐng)域中，生產(chǎn)商通常需要極其清潔的環(huán)境，以確保產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中不受空氣污染或干擾的影響。 例如，在生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的過程中，每個半導(dǎo)體器件包含了多層材料， 如果氣體分子混合在這些不同的材料層之間，將會造成器件的電學(xué)或光學(xué)特性的破壞； 或者在加工半導(dǎo)體器件的過程期間，需要用諸如電子束、離子束和分子束之類的粒子照射和轟擊材料， 在大氣中，氣體分子將與這些粒子碰撞，從而大大縮短其行進路程，從而導(dǎo)致絕大多數(shù)粒子無法到達材料表面。 因此，真空泵是鋰電池、光伏、半導(dǎo)體面板等領(lǐng)域中必不可少的通用設(shè)備， 而這些領(lǐng)域?qū)φ婵諚l件的高標準，也對真空設(shè)備提出了更高的技術(shù)要求。
真空泵的發(fā)展愈來愈受到應(yīng)用應(yīng)用領(lǐng)域的影響，而一般的真空系統(tǒng)無法滿足應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Νh(huán)境清潔無油的耐腐蝕的要求。螺桿真空泵是20世紀90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種，它以結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔組件無摩擦、抽速范圍寬、壽命長、能耗低等優(yōu)點逐漸占領(lǐng)市場。正是由于其優(yōu)越的性能，在歐美日等國別，螺桿真空泵已經(jīng)成為半導(dǎo)體、微電子、精密加工、制藥等行業(yè)優(yōu)先選擇的真空獲取設(shè)備。
真空泵是半導(dǎo)體各工藝制程環(huán)節(jié)中不可或缺的通用設(shè)備。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈主要分為IC設(shè)計、晶圓制造和芯片封測三大環(huán)節(jié)。一般來說晶圓制造可以細分為前道和后道兩個工藝步驟，前道工藝是將硅材料加工制造成晶圓片，通過光刻機曝光等多道工序?qū)C設(shè)計圖案加載到晶圓上，制成集成電路；后道工藝是將載有集成電路的晶圓分割成基本單元，再通過封裝、測試后制成最終的集成電路產(chǎn)品。半導(dǎo)體真空泵可普遍應(yīng)用于晶圓制造過程中的單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。
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